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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心材料樣品處理等離子清洗機(jī)KT-S2DQXplasma離子清洗機(jī)射頻電源

plasma離子清洗機(jī)射頻電源

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

plasma離子清洗機(jī)射頻電源,不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果。

產(chǎn)品型號(hào):KT-S2DQX
更新時(shí)間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1051
詳細(xì)介紹在線留言
品牌鄭科探產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

plasma離子清洗機(jī)射頻電源,

等離子體清洗的機(jī)理,主要是依靠等離子體中活性粒子的"活化作用"達(dá)到去除物體表面污漬的目的。等離子體清洗通常包括以下過(guò)程:無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。等離子體清洗技術(shù)的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型,均可進(jìn)行處理,對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。



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plasma離子清洗機(jī)射頻電源

供電電源

AC220V(AC110V可選)

工作電流

整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

150W

射頻頻率

13.56MHz

頻率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50歐姆,手動(dòng)匹配

耦合方式

電容耦合

真空度

≤50Pa

腔體材質(zhì)

高純石英

腔體容積

2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)

觀察窗內(nèi)徑

Φ50

氣體流量

0—50ml/min(其他量程可選)

過(guò)程控制

過(guò)程手動(dòng)控制

清洗時(shí)間

手動(dòng)開(kāi)關(guān)

開(kāi)蓋方式

鉸鏈側(cè)開(kāi)式法蘭

外形尺寸

450x450x360mm

重量

23Kg

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

標(biāo)配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說(shuō)明書(shū)一本。










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