真空腔體氣體傳感器主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電化學信號測試。真空腔體氣體傳感器可擴展模塊較多，該腔體設計有進氣口和抽真空接口和4-8芯信號真空電極及真空計接口，上部安裝有φ80石英觀察片方便觀察樣品和光學用途。

1、測試腔、控溫及加熱系統(tǒng) 

測試夾具要求：可實現(xiàn)XYZ移動；

測試腔：同時滿足靜態(tài)/動態(tài)測試，304不銹鋼材質(zhì)，可在紫外燈下保證氣密性測試；

測試樣品數(shù)：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；

測量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測溫傳感器：PT100

升溫斜率：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測試腔容積<2 L

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